1) S. M. Gates, B. A. Scott, and R. D. Estes, Fundamnetal chemistry of silicon CVD
AIP Conf. Proc. 167, pp. 43-49;
- DOI:
http://dx.doi.org/10.1063/1.37142
http://dx.doi.org/10.1063/1.37142Сейчас этот форум просматривают: нет зарегистрированных пользователей и 51 гость