Травление ЖИГ

[YIG]

Привет!

Возникла задача вытравить в пленке ЖИга(Y₃Fe₅O₁₂) некоторую структуру. На одном оборонном заводе взялись это дело. Однако, процент брака выше 80%. Травят в кипящей ортофосфорной кислоте. Маски используют промышленные, в универе мне такие не достать. Недавно перешли на защиту с помощью напыления металла. Лучше не стало. Теперь подтравливается под маску.
Мне кажется, что данную задачу можно решить проще, вроде ЖИГ может травиться в соляной кислоте. А к ней должны быть устойчивые фоторезисты.

Можете что нибудь подсказать по этому поводу?

[Агдамыч]

Что за структура? Глубина? Лазером?

[avor]

По моему это вопрос по неорганике - это физхимики ее перенесли в общую.
Непонятен выбор фосфорной кислоты, ведь она образует малорастворимые фосфаты с железом.

Я бы посоветовал соляную или плавикосодержащие кислоты(я не спец по иттрию), но из общих соображений не сильно концентрированная азотка.
Резисты такие должны быть.

[YIG]

Спасибо!
Структура - гранат, железо-иттриевый.
Глубина 27 um.
Где достать лазер?

Выбор обусловлен тем, что с этой технологией уже много времени работают при изготовлении печатных плат с медными и пр. проводниками.
А про резисты устойчивые к соляной и плавиковой кислотам я пока нечего толком не нашел. Я так понял, что любой пленочный фоторезист типа ПФ-ВЩ-50 держит соляную кислоту. Может есть специалисты, которые лучше осведомлены по поводу фоторезистов?

[Агдамыч]

Структура - гранат, железо-иттриевый.

Да я про рисунок, что Вы там рисовать хотите?

Глубина 27 um.

Лазером - запросто.

Где достать лазер?

Ой. Это - к местным. Чо, на оборонном предприятии нет, штоле?

[antabu]

Выбор обусловлен тем, что с этой технологией уже много времени работают при изготовлении печатных плат с медными и пр. проводниками.

Что-то мне незнакомо, чтобы медь травили фосфорной кислотой.

[YIG]

Структура пока самая простая - круглые резонаторы диаметром 1мм.

Ой. Это - к местным. Чо, на оборонном предприятии нет, штоле?

Скорее всего где то есть)) но на нашей базовой кафердре при этом заводе лазера точно нет))) Будем искать)))

Что-то мне незнакомо, чтобы медь травили фосфорной кислотой.

Хм, я над этим не задумывался. Я травил только хлорным железом и персульфатом(имею ввиду медь).

[antabu]

Наверно, можно и фосфорной, только гальванически, при включении её анодом.

[amik]

Топикстартер вначале упомянул кипящую ортофосфорную. Медь в ней растворяется и проверить данный факт несложно
Удивительно, если таким жутким приемом пользуются, хотя, возможно, это банальное отвлечение внимания от истинного химизма процесса.

[ivasi]

Лазером выжечь гранат, да еще и на металлической подложке - задача, мягко говоря, трудно выполнимая, по целому ряду причин.
Вот тут описан метод травления в ортофосфорной кислоте, с использованием лазера в качестве стимулятора гетерогенных процессов, по сути для ускорения.
То есть изначально создаются условия, при которых травление происходит с очень низкой скоростью, а в месте фокусировки процесс резко ускоряется.
Соответственно при такой технологии и достаточно высокой точности позиционирования привода головки с лазером можно вообще обойтись без масок
http://www.nbuv.gov.ua/portal/natural/t ... /23_25.pdf

[YIG]

Ivasi, спасибо за информацию!
Подложка, кстати, ГАЛИЙ ГАДОЛИНИЕВЫЙ ГРАНАТ, она прозрачна, так что проблемы не будет. Металл, а точнее ХРОМ, используется на данный момент в качестве защитной маски.
В ближайшее время самостоятельно попробую слабую азотную или соляную кислоту. В качестве защитной маски попробую использовать доступный мне фоторезист.

UPD: Ivasi, статья как раз о том, что мы делаем! Огромное спасибо!