Помогите, пожалуйста, скачать статью
GaN Film Fabrication by Near-Atmospheric Plasma-Assisted Chemical Vapor Deposition
Takahiro Nagata, Yoshiki Sakuma, Tsuyoshi Uehara1, and Toyohiro Chikyow
Jpn. J. Appl. Phys. 46 (2007) pp. L43-L45
- DOI:
http://dx.doi.org/10.1143/JJAP.46.L43