Может, у кого-нибудь есть возможность доступа к ASTM стандартам до 2003 года (список прилагается ниже). Стандарты были исключены из ведомства ASTM и переданы в ведомство SEMI в 2003 году. Поскольку последняя организация является негосударственным объединением, доступ из Беларуси (где я работаю) к обновленным
оригиналам невозможен, то же относится к уже исключенным из ASTM. Стандарты описывают продедуры и приемы выявления структурных дефектов в монокрист. Si методом химического травления.
1.ASTM F 1809-02 Guide for Selection and Use of Etching Solutions to Delineate Structural Defects in Silicon:
- DOI:
http://dx.doi.org/10.1520/F1809-02
- DOI:
http://dx.doi.org/10.1520/F1810-97R02
- DOI:
http://dx.doi.org/10.1520/F1725-02
- DOI:
http://dx.doi.org/10.1520/F1726-02