Помогите, пожалуйста, достать статью:
A study of remote plasma enhanced CVD of silicon nitride films
S.E. ALEXANDROV, M.L. HITCHMAN and S. SHAMLIAN
J. Phys. IV France 03 (1993) C3-233-C3-240
- DOI:
http://dx.doi.org/10.1051/jp4:1993331
http://dx.doi.org/10.1051/jp4:1993331Код: Выделить всё
http://hal.archives-ouvertes.fr/docs/00/25/13/88/PDF/ajp-jp4199303C331.pdf Сейчас этот форум просматривают: нет зарегистрированных пользователей и 24 гостя