Помогите пожалуйста добыть две статьи - почему-то мегаресурс sci-hub не хочет их выдавать, пробовала и дома и на работе, где разные ip-адреса.
1. Effect of Ozone on Deposition of Silicon Oxide Films from Decamethylcyclopentasiloxane
Sergei Alexandrov, Leonid A. Filatov, and Anastasya Speshilova
ECS Trans., Volume 25, Issue 8, EuroCVD Posters I, pp. 373-379
- DOI:
http://dx.doi.org/10.1149/1.3207615
Alexandrov S., Kretusheva I., Mishin M.
ECS Transactions. 2009. V. 25. Р. 943 – 951.
- DOI:
http://dx.doi.org/10.1149/1.3207690