Journal of Vacuum Science and Technology
Measurements of electron temperature in a capacitively coupled plasma using emission spectroscopy
J. Felts, E. Lopata
Год выпуска 1988
Том 6
Номер 3
страницы 2051-2053
- DOI:
http://dx.doi.org/10.1116/1.575599
http://dx.doi.org/10.1116/1.575599Сейчас этот форум просматривают: нет зарегистрированных пользователей и 16 гостей