Помогите, пожалуйста. ознакомиться со статьей:
Modelling of growth in a 5 X 3 inch multiwafer metalorganic vapour phase epitaxy reactor
T. Bergunde, F. Durst, L. Kadinski, Yu. N. Makarov, M. Schäfer and M. Weyers
Journal of Crystal Growth, Volume 145, Issues 1-4, 2 December 1994, Pages 630-635
- DOI:
http://dx.doi.org/10.1016/0022-0248(94)91118-5