Травитель для платины

[Псих]

Чем можно травить плёнку платины, толщиной ~1мкм? Существуют ли относительно неагрессивные травители, позволяющие не стравливать подложку (в нашем случае подложа - GaAs).

[ivasi]

Чем можно травить плёнку платины, толщиной ~1мкм? Существуют ли относительно неагрессивные травители, позволяющие не стравливать подложку (в нашем случае подложа - GaAs).

Не существует. Для этих целей используется электрохимическое травления - после нанесения маски травление осуществляется в разбавленной соляной кислоте на платину подается потенциал - 1-1.5в.
Либо используется сухое травление - ионое или плазменное

[amik]

Коллега ivasi рискнул ответить на безнадежный вопрос
Электрохимия скорее всего не подойдет, подложка - полупроводник, а микронный слой платины где-нибудь да разорвется и подать напряжение на нестравленный участок платины уже, скорее всего, не удастся
Про "сухое травление" можно взглянуть?

[ivasi]

Коллега ivasi рискнул ответить на безнадежный вопрос
Электрохимия скорее всего не подойдет, подложка - полупроводник, а микронный слой платины где-нибудь да разорвется и подать напряжение на нестравленный участок платины уже, скорее всего, не удастся
Про "сухое травление" можно взглянуть?

amik, всегда пожалуйста
Про литографию и сухое травление в частности - ионное, плазменное...
http://www2.fep.tsure.ru/books/kes/ryndin/cons-a4.pdf

Касательно жидкого травления в солянке - так и делается. Платина имеет гораздо большую электропроводность чем подложка, поэтому подтравливание незначительное. Платиновое покрытие в литографии очень качественное - напыляется в вакууме. Так что не порвется. Топология трафарета делается с учетом того чтобы при стравливании не образовалось изолированных участков. Процесс заканчивается тогда сопротивление достагает определенной величины, соответственно ток падает практически до нуля из за стравливания проводника.

[Myrsten]

Для этих целей используется электрохимическое травления - после нанесения маски травление осуществляется в разбавленной соляной кислоте на платину подается потенциал - 1-1.5в.

соответственно ток падает практически до нуля из за стравливания проводника.

Вы наверное имеете в виду подложку - кремний ?, Тогда да, он слегка подокислится с поверхности и электрод запассивируется после снятия с его поверхности платины.
А вот GaAs, ИМХО, при указанном анодном потенциале в солянке растворяться будет весьма шустро, уж точно быстрее платины.
Если уж принять электрохимический метод, то в данном конкретном случае я бы работал в гальваностатическом режиме, о конце процесса можно судить по снижению потенциала электрода.

Если задача гипотетически и имеет решение, то оно должно лежать в области "сильнейший комплексант - слабый окислитель (или небольшая анодная поляризация) - нейтральная среда". Контроль протеккания процесса - по потенциалу образца.

ЗЫ
подскажите, пожалуйста, растворяется ли платина на воздухе в растворе калий-цэ-эн ? Хотя он тоже вряд-ли подойдет, ибо щелочная среда.

[Псих]

А если имеется тонкий подслой золота между платиной и GaAs? 20-100 нм? Он будет растворятся при электрохимическом травлении в HCl ? Или может быть слой Au+Ge (Ge - 10%) или Au+Сr (Cr - 10%).

[ivasi]

Myrsten, арсенид галлия пассивируется азотной кислотой. Если платина растворится в азотной кислоте при приложенном потенциале, тогда можно пойти этим путем. Есть ведь нитрат платины(II).
Хотя зачем так мучиться - все равно слой платины напыляется - ну и напыляли бы через трафарет. и травить бы ничего не пришлось.

Псих, золото растворится в солянке.