растворить Si незатрагивая SiO2

[S324]

Господа! Физики имеют пластину кремния покрытую слоем диоксида.
Хотят протравить кремний незатрагивая плёнку диоксида.
Возможно?

[Poloniy]

Забавно...но ведь пленка диоксида в любом случае будет атакована(если я все правильно понимаю).
Тоже самое, что выпить лимонад, не открывая и разбивая бутылки...

[S324]

+1
ну может плёнка с разрывами! хто их знает???????????

[Poloniy]

Возможно и так, но я полагаю, что в таком случае, местами и протравится.

[dan14444]

Я б хлором попробовал... А вообще, должно быть описано...

[aversun]

Посмотрел у Ямпольского А.М. "Травление металлов" травление кремния, все рецепты травления содержат или плавикоыую кислоту или сильно щелочные, врядли в таких условиях поленка SiO2 сохранится.

[Iskander]

Чтой-то мне вспоминается плазменное травление в атмосфере фреона или перфторэтана при СВЧ возбуждении сравнительно низкотемпературной плазмы...

А зачем им это?
Может ту плёнку проще сделать как-то иначе?

[Nord]

Кажется, травят смесью хлора с хлороводородом.

[aversun]

http://www.webknow.ru/khimija_00330_4.html
http://referating.com/item_36757.html
http://all-referats.ru/alls/99/40232.html

[S324]

Спасибо всем!
Дал сцылку физикам может напишут, чего точно хотят